ساخت سه بعدی آرایه های قابل تنظیم و چگالی بالا از نانوساختارهای سیلیکونی کریستالی

[aliali3000 3]

در این مقاله، روشی برای نانوساخت سه بعدی آرایه های مرتب و با چگالی بالا از نانوساختارهای سیلیکونی کریستالی شرح داده شده است. برای ساخت آرایه نانوساختار از دو روش نانولیتوگرافی استفاده شد.ترجمه چیکیده ماشینی است. لیتوگرافی جابجایی تالبوت (DTL) و لیتوگرافی لبه (EL). DTL برای انجام دو مرحله (متعامد) الگوی مقاومت برای الگوبرداری از یک لایه نازک Si3N4 استفاده می شود. برای مشاهده ادامه مطلب به سایت هشت اکسیر مراجعه کنید.

ویرایش شده چهارشنبه در 08:54 توسط aliali3000